石墨舟皿去垢前的查看作業(yè)：
    石墨舟在使用過(guò)程中接近100次時(shí)需求操作人員及時(shí)查看鍍膜情況，呈現(xiàn)鍍膜異常，需求進(jìn)行清洗供認(rèn)。
    硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜色彩為藍(lán)色，片內(nèi)呈現(xiàn)非藍(lán)色、多種色彩或片與片間色彩差異較大，都為鍍膜異常，需求工藝供認(rèn)異常原因。
    由工藝人員對(duì)舟的鍍膜情況進(jìn)行剖析后，供認(rèn)石墨舟是否需求清洗以及卡點(diǎn)是否需求替換，出產(chǎn)將需清洗的舟交由設(shè)備人員清洗。
    石墨舟供認(rèn)需求清洗后，由設(shè)備、出產(chǎn)、工藝三方對(duì)石墨舟進(jìn)行查看。